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第441章咳血的科研该结束了(第1/2页)
三天后。
魔都。
仪表厂有机化学实验室,化工车间。
镜头有了,干涉仪有了。
但光刻工艺里,还有一个最要命的耗材。
光刻胶。
老雷从武田电子带回来的G线光刻胶工艺。
金属离子杂质,必须低于ppb级。
也就是十亿分之一。
听起来像小数点后面很远的事。
可在硅片上,哪怕一点点污染,都可能让线路短路,整片晶圆直接报废。
林希和红星科技化工专家吴长青赶到实验楼时,还没推开车间大门,隔着走廊就闻到一股刺鼻味道。
酸,辣,臭,呛。
不是炒菜的呛。
是那种吸一口,鼻腔黏膜都像被刮了一层的化学药剂味。
吴长青脚步慢了半拍,眉头当场皱紧。
“强酸环境。”
他压低声音。
“排风不够,有毒气体肯定超标了。”
林希没答话,直接推开车间门。
排风扇在头顶轰鸣。
锈迹斑斑的扇叶每转一圈,都发出刺耳的吱呀声,像随时会散架。
车间中央的操作台前,一个瘦小的老高工正弓着腰。
他穿着厚重防化服,脸上扣着一只军绿色老式防毒面具。
老头正在用国内最原始、也最危险的办法提纯光刻胶。
强酸络合洗涤。
负压蒸馏。
这套办法,说白了,就是设备不够,人来补。
他的右手扣着一个铜阀门,只敢一点一点往回带。
左手举着一根玻璃水银温度计,眼睛贴在刻度线上,连眨眼都不敢太用力。
操作台下面,散着几团揉成球的纱布。
纱布上有暗红色血迹。
突然,老高工猛地咳了起来。
声音又沉又闷。
隔着防毒面具,像肺里有什么东西在磨。
他没有退半步,只是随手扯下脖子上的毛巾,捂住呼吸阀。
面具边缘,渗出一丝浓烈的血腥气。
“谁?”
老头没回头,声音沙哑。
“这儿有毒,外人别进来。”
吴长青走上前,亮出工作证。
“红星科技,吴长青。”
“这位是红星科技副总,林希。”
“我们来看光刻胶进展。”
老高工扭过头。
护目镜片后面,那双被熏得发红的眼睛扫了他们一眼。
“看?”
“有什么好看的。”
他把温度计举高了些,继续盯着汞柱顶端。
“负压蒸馏到第三遍了。”
“金属离子含量要从ppm降到ppb,得反复洗、反复馏。”
“国内设备精度不够,只能靠人控。”
他说着,又重重咳了两声。
可右手还在极其细微地旋转阀门。
一点一点。
像在用命拧住那半度温差。
林希的脸色沉了下来。
他太清楚这群老辈军工人的倔强。
他们不是不知道危险。
他们只是觉得,自己还能扛。
还能再熬一炉。
还能再给国家多抢一点时间。
林希退到门口,对跟来的两个技术员挥了挥手。
技术员立刻转身去抬东西。
下一秒,林希没有任何犹豫,快步冲进车间。
没等所有人反应过来,他直接一巴掌拍在墙上的总电源切断开关上。
啪!
排风扇和加热设备瞬间断电。
翻滚的玻璃钢桶渐渐平息。
整个车间一下子安静下来。
老高工愣了一秒。
随即,他猛地转过头。
隔着模糊的镜片,他死死瞪着林希。
他一把扯下防毒面具,露出一张布满红斑、脱皮和深皱纹的脸。
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“你干什么!”
老高工冲着林希咆哮,声音沙哑得像砂纸磨玻璃。
“谁让你断电的!”
“这胶是活的!”
他急得直拍台面。
“温度差半度,大分子链就断!”
“搅拌快一转,气泡就进去了!”
“负压抽滤阀门松一丝,氧气漏进来,前面所有活全白干!”
林希站在原地,看着快要崩溃的老高工,声音不高,却如铁锭砸地。
“白干就白干。”
老高工愣住了,气得浑身发抖:
“你知不知道这桶料值多少外汇......”
“一桶料废了,红星赔得起。”
林希打断他,语气不容置疑,
“但国家培养一个您这样的高分子化工专家,要三十年。”
“您的命,比这桶破胶金贵得多!”
老高工用力拍着自己的胸口。
“你以为我愿意拿命填?”
“这些东西,机器懂吗?”
“国内根本没有那么精密的温控设备!”
他指着自己的眼睛,又指了指鼻子。
“我干了三十年化工,我的鼻子和眼睛,比那些破烂机器准!”
“只要我不倒在这个台子前,我就能把达标的胶提出来!”
林希站在原地,声音不高,却很硬。
“这里毒气超标了。”
“国家的科研,不能再靠这种土办法拿命去熬。”
老高工刚要再骂,门外传来车轮碾过门槛的声音。
几个工人推着一辆平板车,吃力地跨进车间。
车上固定着一台半人高的金属设备。
防震木架拆开后,露出没有明显接缝的钛合金外壳。
白炽灯照在上面,泛着冷硬的镜面光。
密封法兰上的螺栓排列整齐,像一圈小小的仪仗队。
侧面铆着一块铭牌。
红星·精工。
老高工愤怒的表情僵住了。
他的目光先落在顶部的数字温控面板上。
又移到侧壁的石英玻璃视窗。
最后停在底部的惰性气体进气口。
眉头一点点拧紧。
“这是什么?”
吴长青走上前,一边接通电源和气路,一边解释。
“镜面级无缝钛合金反应釜。”
“红星科技用咱们自己的天枢准五轴机床,整块钛合金锭铣出来的。”
他戴上手套,打开检查口,给老高工看内壁。
“内壁粗糙度做到纳米级。”
“不会有金属离子渗出污染光刻胶。”
“全数字温控,精度0.05摄氏度。”
“密闭负压环境,惰性气体保护,操作人员不需要接触有毒气体。”
老高工没吭声。
他半信半疑地往前挪了两步。
那双手背上全是化学灼伤的手,悬在半空,想摸,又硬生生忍住了。
吴长青没有反驳他刚才的怒火,指挥技术员开始安装。
不到一个小时,设备安装和气密性打压测试全部完成。
他按下启动键。
数字温控面板亮了起来。
内部开始抽真空、通惰性气体、升温。
设定温度:78.5°C。
红色液晶数字快速跳动。
78.1。
78.3。
78.4。
数字慢了下来。
最后跳了一下。
78.5。
稳住了。
老高工死死盯着那个数字。
十秒。
三十秒。
一分钟。
三分钟过去。
小数点后面那个“5”,一动不动。
连抖一下都没有。